本帖最后由 哈里-谢顿 于 2024-5-1 16:39 编辑
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金捷幡大佬又有新文章,不过全文不方便请移步原地址,外野只适合发些搞笑内容
近半导体圈内有本大家很期待的新书,书名特别的短又特别的长。
这本书就是《Focus》(聚焦),副标题是“ASML之道,关于地球上最复杂机器的权力斗争内幕” (The ASML Way—-Inside the power struggle over the most complex machine on earth)。
此书首发荷文英文版,我看到国内出版社也已经签了中文版。但看完之后,忍不住泼一小盆冷水:因为按国内出版的严格要求,恐怕其中很大的篇幅甚至有可能五分之一的内容都得删改。
原本大家都认为这本书是关于ASML的完整传记,这么说虽然也没错,但作者集中火力在描述目前的科技冷战和大国博弈;以及ASML如何在夹缝中挣扎,在挣扎中变异。
关于书中的一些小花絮,我看得津津有味。
英特尔的一个工厂,很诡异地在夜间1-2点良率会降低,然后又会自动恢复正常,技术人员百思不得其解。最后发现,原来是附近农场的牛放屁所致。
真的是牛屁呦。
书中也没写为什么牛会集中在那个时间段放屁,但屁中的甲烷确实飘散在空气中最终进入了洁净室。英特尔最后只得花钱请农场搬走。
另外一个例子是关于风水,现在很多晶圆厂确实也很迷信的。亚利桑那有个晶圆厂里光刻机一直出问题,但工程师怎么检测都是正常的。更诡异的是,厂其它设备也频出问题。
厂长听说这个厂是坐落在以前印第安的人墓地上,就请了风水师来看。风水师发现厂门口的一些花坛还是什么的混凝土有点像墓碑,得搬走。更神奇的是,这个巫师也穿上兔子服进了产线考察,他说亡灵们喜欢红色,得给他们些红色。
厂长把包装镜头的鲜红纸盒叠了叠放在光刻机上,问题真的奇迹般消失了。多年来没人敢去动那个盒子,甚至新的光刻机进场也被要求放红盒子。
三、
在台积电的一个晶圆厂现场,也曾有过一个浸没式设备问题;每次重新启动后,它会莫名其妙地在接下来的两个小时内产出次品芯,然后什么都不用调就一切恢复正常。
技术人员经过几个月的研究才找出原因。每次当机器停机,会有五滴水滴在那一层浸水上,导致其膨胀了几个纳米。这就足以使投影图案偏离正常。两小时后水分蒸发完,浸水恢复原状,使机器没有任何错误的痕迹。
类似这样的问题只有在工厂车间严酷的现实中才会暴露出来。即使经过多年的精心设计,这些机器面临的问题中有一半是难以想象的。
ASML对保密采取了明显的实用主义态度。他们认为在技术竞赛中,只有一种赢的方法 -你必须比对手跑得更快。当然他们也很有自信,因为无数Know-how藏在不同的部件里甚至供应商端,复制确实也不容易。
我们在《ASML走上绝路》一文里提到,大马丁一战成名的PAS5500后来成为数十年经久不衰的一代神机,到今天全球还近2000台在跑。ASML对运维这些旧机器有点厌倦,大概也就是五年前,他们认真考虑了把PAS5500全部技术授予中国的SMEE。随后YKW那些事来了,然后就没有然后了。
“光刻机从电网中获得500万瓦,产生30千瓦的激光,从而产生100瓦的EUV光。其中,大约有1瓦的光最终落在晶圆上。”
读者们用膝盖算一算都能知道这种能源使用效率之低下,而这在其它领域也是完全不可想象的。据有人测算,拥有100台EUV的台积电,大概可消耗整个台湾岛十分之一的电力。
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